New PDF release: Konzeption und Realisierung einer neuen Prozesskette zur

By Torsten Koker

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Extra resources for Konzeption und Realisierung einer neuen Prozesskette zur Integration von Kohlenstoff-Nanoröhren über Handhabung in technische Anwendungen

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Im folgenden Abschnitt werden zunächst die bisher verwendeten Ansätze zur Integration von CNTs über Handhabung in die ausgewählten Anwendungen im Detail dargestellt und bewertet. Anschließend werden wichtige Methoden für Verarbeitungs- und Hilfsprozesse zur Integration von einwandigen Kohlenstoff-Nanoröhren über Handhabung vorgestellt. 1 Entwicklungsstand zur Integration von Kohlenstoff-Nanoröhren über Handhabung in ausgewählte technische Anwendungen Eine Möglichkeit zur Integration von CNTs über Handhabung stellt die Manipulation von Kohlenstoff-Nanoröhren per Hand, 3D-Manipulator oder AFM dar.

Die entsprechenden Chipebenen werden daher jedoch sowohl durch Elemente mit metallischem Verhalten als auch durch Bausteine mit halbleitendem Verhalten, die parallel geschaltet sind, verbunden. Hierdurch bedingt wird das Potenzial, das durch die Verwendung von CNTs theoretisch besteht, nicht vollständig ausgeschöpft, da Vias aus Materialien mit metallischem Verhalten bestehen sollen. Feldeffekttransistoren Wie bereits erläutert, wirkt ein elektrischer Kontakt zwischen einem Halbleiter und einem Metall unter bestimmten Bedingungen als Diode.

Die Herstellung solcher SWCNT-Chargen wird u. a. dadurch erschwert, dass der Wachstumsmechanismus von CNTs derzeit noch nicht vollständig bekannt ist. Die Längen- und Durchmesserverteilung der CNTs hängt vom Herstellungsverfahren ab (Tab. 2) und kann in bestimmten Grenzen durch die Wahl der Verfahrensparameter beeinflusst werden. Neben CNTs entstehen bei der Synthese auch Nebenprodukte wie Graphit, Fullerene, amorpher Kohlenstoff und kohlenstoffbeschichtete Katalysatorpartikel ([Dae 03], [Dai 01]).

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